Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication Volume 1, Microlithography
- Författare
- (P. Rai-Choudhury, editor.)
- Genre
- Electronic books
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE Press, Institution of Electrical Engineers (IEE | 1997 | USA, Bellingham, Stevenage | online resource (viii, 768 sidor.) ill., tab. | 978-1-5106-0796-5 |